----
以工廠的設計概念, CDA通常不會作為製程氣體, 而適用於機械作動的支援角色, 例如氣動推動, 因此氣體就是高壓空氣,
如果參考該公司網頁, 應該是使用這樣的類型做為控制才是, 讓我們長長知識也好:
2.1. 直接測量法
這種方法是將感測器安裝在管壁表面附近，並用網孔及蜂窩狀整流的上游側進行測量。儘管測量範圍大且容易實現高精密度，但成本較高。此為熱式感測器中的最新方法。
通過極小化測量元件，可減少熱容量以獲得出色的靈敏度。
可以半導體製造設備進行低成本且大量的生產。
由於會直接接觸氣體，因此通常無法測量腐蝕性氣體。
------
https://www.chinatimes.com/newspapers/20220401000269-260204?chdtv
台積電（2330）攜手供應商開發「智能壓縮乾燥空氣（CDA）流量控制系統」，節省測試機台70％的CDA用量並達到省電效果，預期每年可減少碳排4,473公噸及省電891萬度。
台積電表示，預計今年第四季完成先進封測廠既有針測機系統全數更新。
台積電實踐綠色製造，除以二大策略、六項行動方案擴大節能成效外，在不影響機台效能的前提下，攜手設備供應商針對測試機台開發智能壓縮乾燥空氣CDA流量控制系統，透過精準控制CDA流量輸出開關，不僅節省測試機台70％的CDA用量，亦達到省電效果。截至今年3月，已導入先進封測廠針測機，每年減少碳排放量4,473公噸、省電891萬度。
晶圓測試的目的為確認每片晶圓的可靠度與良率，依不同測試環境需求，部分測試機台由廠務系統全時段供應CDA以確保低溫時仍保持乾燥，維持測試環境的穩定性。
台積電表示，因半導體製程快速演進使測試需求持續增加，為提升機台運作與CDA使用效率，測試營運處於2020年第三季啟動智能CDA流量控制系統開發專案，與設備供應商合作改造測試機台管路、控制閥件及控制軟體系統，透過擷取機台參數，可依據測試環境需求自動控制CDA流量開關，非低溫測試環境時即關閉控制閥，達到有效節省CDA用量與電力的效益。
台積電預計今年第四季完成先進封測廠既有針測機系統全數更新，並將智能CDA流量控制系統列為新建先進封測廠測試機台標準設計，預估至2026年可年省4,000萬度電、減碳20,080公噸，相當於52座大安森林公園一年的二氧化碳吸附量；台積電亦規畫將智能CDA流量控制系統導入測試機，持續擴大節能效益，朝能源使用效率最佳化目標邁進。
